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产业化应用中心
后羿®系列 板式ALD系统
采用自主知识产权的真空腔内温场和流场设计，实现空间型原子层沉积镀膜工艺方式，为钙钛矿薄膜太阳电池组件产线提供高质量氧化物功能层薄膜材料，以确保量产组件的高效率和长寿命。面向平米级玻璃衬底，高速镀膜解决方案，适配线型产线的生产节拍，集成成熟的上下料自动化方案，为客户提供可靠的大规模量产解决方案。
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产品特点
适用于正式或反式、单结或叠层的钙钛矿薄膜太阳电池组件
1
针对平米级面积玻璃衬底，常用尺寸0.6×1.2 ㎡/1.2×2.4 ㎡可客户定制
2
制备氧化锡（SnOx）和氧化铝（AlOx）等高质量致密氧化物薄膜
3
优异的薄膜厚度面积均匀性，片内<5%，批间<5%
4
适配于大面积衬底线性产线的生产节拍60s/片@ 20nm
5